气体质量流量计直接测量气体的质量流量,无需温度和压力补偿,其核心工作原理与应用领域如下:
一、工作原理
1、热式原理
恒温差法:传感器含两个铂热电阻,一个加热至恒定温差(速度传感器),另一个检测气体温度。气体流经时带走热量,维持温差所需的电流增量与质量流量成正比。
恒功率法:保持加热功率恒定,通过测量温度差结合气体定压比热容计算质量流量。
适用性:适合低流速、小管径场景(如半导体制造、实验室微流量检测)。
2、科里奥利原理
气体流经高频振动的测量管时产生科里奥利力,导致管道相位偏移,偏移量与质量流量成正比。
优势:精度高,不受气体物性(密度、粘度)影响。
局限:成本较高,体积较大,适用于高精度需求场景。
二、应用领域
1、工业过程控制
能源与化工:天然气贸易结算、化工厂反应气体配比、氨气流量监测。
冶金与电力:高炉煤气计量、锅炉燃气/空气送风控制。
2、高精度与特殊场景
半导体制造:蚀刻气、沉积气等工艺气体的精准控制。
环保监测:烟道气排放计量、沼气回收利用。
实验室研发:微流量气体实验、流体动力学研究。
3、公用设施管理
燃气分配计量、管道气体泄漏检测、水处理中气体投加控制。
三、核心优势
1、直接输出质量流量:避免体积流量计所需的密度换算和温压补偿。
2、高适应性:适用于腐蚀性气体、混合气体及工况波动的复杂环境。
3、宽量程比:部分热式流量计可覆盖低速至高速的流量范围。
四、选型关键
1、气体特性:洁净度、腐蚀性、比热容。
2、工况参数:管径尺寸、流量范围、温度/压力极限。
提示:在腐蚀性气体或宽温压波动场景中,热式流量计需根据气体 校准,科里奥利流量计则更适合高精度贸易结算。
