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气体用质量流量计的工作原理与特点

更新时间:2025-06-17点击次数:92
  气体质量流量计直接测量气体的质量流量,无需温度和压力补偿,其核心工作原理与应用领域如下:
 
  一、工作原理
 
  ‌1、热式原理‌
 
  ‌恒温差法‌:传感器含两个铂热电阻,一个加热至恒定温差(速度传感器),另一个检测气体温度。气体流经时带走热量,维持温差所需的电流增量与质量流量成正比。
 
  ‌恒功率法‌:保持加热功率恒定,通过测量温度差结合气体定压比热容计算质量流量。
 
  ‌适用性‌:适合低流速、小管径场景(如半导体制造、实验室微流量检测)。
 
  ‌2、科里奥利原理‌
 
  气体流经高频振动的测量管时产生科里奥利力,导致管道相位偏移,偏移量与质量流量成正比。
 
  ‌优势‌:精度高,不受气体物性(密度、粘度)影响。
 
  ‌局限‌:成本较高,体积较大,适用于高精度需求场景。
 
  二、应用领域
 
  ‌1、工业过程控制‌
 
  ‌能源与化工‌:天然气贸易结算、化工厂反应气体配比、氨气流量监测。
 
  ‌冶金与电力‌:高炉煤气计量、锅炉燃气/空气送风控制。
 
  ‌2、高精度与特殊场景‌
 
  ‌半导体制造‌:蚀刻气、沉积气等工艺气体的精准控制。
 
  ‌环保监测‌:烟道气排放计量、沼气回收利用。
 
  ‌实验室研发‌:微流量气体实验、流体动力学研究。
 
  ‌3、公用设施管理‌
 
  燃气分配计量、管道气体泄漏检测、水处理中气体投加控制。
 
  三、核心优势
 
  ‌1、直接输出质量流量‌:避免体积流量计所需的密度换算和温压补偿。
 
  ‌2、高适应性‌:适用于腐蚀性气体、混合气体及工况波动的复杂环境。
 
  ‌3、宽量程比‌:部分热式流量计可覆盖低速至高速的流量范围。
 
  四、选型关键
 
  ‌1、气体特性‌:洁净度、腐蚀性、比热容。
 
  ‌2、工况参数‌:管径尺寸、流量范围、温度/压力极限。
 
  提示:在腐蚀性气体或宽温压波动场景中,热式流量计需根据气体 校准,科里奥利流量计则更适合高精度贸易结算。

 

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